Bộ lọc bán dẫn

Bộ lọc khí bán dẫn:

Đảm bảo độ tinh khiết khí hoàn hảo trong sản xuất chip

Trong thế giới sản xuất chất bán dẫn phức tạp, nơi độ chính xác và độ tinh khiết là tối quan trọng, chất lượng của

khí được sử dụng đóng một vai trò quan trọng trong việc xác định sự thành công của quá trình. Các tạp chất, ngay cả ở mức độ vô cùng nhỏ,

có thể tàn phá mạch điện mỏng manh của vi mạch, khiến chúng bị lỗi và không thể sử dụng được. Để bảo vệ

Trong quá trình quan trọng này, các bộ lọc khí bán dẫn đóng vai trò là những người bảo vệ kiên cường, loại bỏ các chất gây ô nhiễm một cách tỉ mỉ.

và đảm bảo chất lượng nguyên sơ của khí chảy qua dây chuyền sản xuất.

Có nhiều tính năng và lợi ích tuyệt vời của bộ lọc kim loại thiêu kết

1. Được chế tạo trong môi trường phòng sạch hiện đại

Những bộ lọc này được sản xuất trong phòng sạch hiện đại, một môi trường có điều kiện sạch sẽ được duy trì tỉ mỉ để giảm thiểu mọi ô nhiễm tiềm ẩn. Chúng trải qua một quy trình sản xuất nghiêm ngặt, bắt đầu bằng việc hàn chính xác trong môi trường không khí tinh khiết. Lần xả nước khử ion tiếp theo, sau đó là quá trình thanh lọc nitơ được lọc ở áp suất cao, sẽ loại bỏ mọi hạt còn sót lại và giảm nguy cơ phát tán hạt.

2. Hiệu quả loại bỏ hạt vượt trội

Với hiệu suất lọc vượt trội 9 LRV đối với các hạt 0,003μm, tuân thủ các tiêu chuẩn nghiêm ngặt do phương pháp thử nghiệm SEMI F38 và ISO 12500 đặt ra, các bộ lọc này loại bỏ hiệu quả mọi hạt sinh ra do ăn mòn và các hạt được tạo ra từ các bộ phận chuyển động, đảm bảo độ tinh khiết nguyên sơ của chất khí.

3. Độ bền cơ học vượt trội

Được kiểm tra nghiêm ngặt để đảm bảo khả năng phục hồi đặc biệt trong các quy trình sản xuất và môi trường đòi hỏi khắt khe thường sử dụng áp suất khí cao, các bộ lọc này mang lại hiệu suất ổn định trong suốt vòng đời của chúng.

4. Vượt các tiêu chuẩn cao nhất của ngành

Vượt qua các yêu cầu lọc xử lý khí nghiêm ngặt để xử lý chất bán dẫn, các bộ lọc này trải qua quá trình kiểm tra nghiêm ngặt để đảm bảo chúng đáp ứng hiệu quả lọc quan trọng, kiểm soát dòng chảy chính xác và các tiêu chuẩn an toàn mà hệ thống phân phối khí trong sản xuất chất bán dẫn yêu cầu.

5. Cam kết kiên định về an toàn

Để bảo vệ khỏi tiếp xúc với các khí quá trình dễ cháy, ăn mòn, độc hại và tự cháy, vỏ bộ lọc phải trải qua quá trình kiểm tra rò rỉ tỉ mỉ, đảm bảo chúng đạt được tốc độ rò rỉ vượt trội dưới 1x10-9 atm scc/giây. Cam kết kiên định về an toàn này đảm bảo rằng các loại khí độc hại được ngăn chặn và ngăn chặn gây hại.

6. Độ tinh khiết tuyệt đối để tạo ra chip xuất sắc

Thông qua khả năng lọc đặc biệt, cam kết kiên định về an toàn và tuân thủ các tiêu chuẩn công nghiệp cao nhất, những bộ lọc khí này đóng vai trò then chốt trong việc bảo vệ quy trình sản xuất chất bán dẫn phức tạp. Họ đóng vai trò là người bảo vệ sự tinh khiết, đảm bảo rằng chỉ những loại khí sạch nhất mới chảy qua dây chuyền sản xuất, mở đường cho việc tạo ra các vi mạch hiệu suất cao cung cấp năng lượng cho thế giới hiện đại của chúng ta.

Các loại bộ lọc bán dẫn

Bộ lọc bán dẫn được sử dụng trong nhiều ứng dụng, bao gồm:

* Sản xuất điện tử:

Bộ lọc bán dẫn được sử dụng để loại bỏ các hạt khỏi nước, khí và hóa chất siêu tinh khiết được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn.

* Làm phẳng cơ hóa học (CMP):

Bộ lọc bán dẫn được sử dụng để loại bỏ các hạt khỏi bùn CMP, được sử dụng để đánh bóng các tấm bán dẫn.

* Y sinh học:

Bộ lọc bán dẫn được sử dụng để loại bỏ các hạt khỏi chất lỏng được sử dụng trong chẩn đoán và điều trị y tế.

* Môi trường:

Bộ lọc bán dẫn được sử dụng để loại bỏ các hạt khỏi không khí và nước.

Có bốn loại bộ lọc bán dẫn chính:

1. Màng lọc:

Bộ lọc màng được làm bằng một màng mỏng, xốp cho phép chất lỏng đi qua đồng thời giữ lại các hạt.

 

Bộ lọc màng cho chất bán dẫn

 

 

2. Bộ lọc độ sâu:

Bộ lọc độ sâu được làm bằng một lớp vật liệu dày, quanh co để giữ các hạt khi chúng chảy qua bộ lọc.

 

Bộ lọc độ sâu cho chất bán dẫn

 

 

3. Bộ lọc hấp phụ:

Bộ lọc hấp phụ được làm bằng vật liệu thu hút và giữ các hạt.

 

 Bộ lọc hấp phụ cho chất bán dẫn

 

 

4. Bộ lọc kim loại thiêu kết

Bộ lọc kim loại thiêu kết là một loại bộ lọc độ sâu thường được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn. Chúng được tạo ra bằng cách thiêu kết bột kim loại mịn thành một cấu trúc xốp. Bộ lọc kim loại thiêu kết được biết đến với độ bền cao, hiệu quả lọc cao và khả năng chịu được nhiệt độ và áp suất cao.

Ưu điểm của bộ lọc kim loại thiêu kết cho sản xuất chất bán dẫn:

* Độ bền cao:

Bộ lọc kim loại thiêu kết rất bền và có thể chịu được các điều kiện vận hành khắc nghiệt, bao gồm nhiệt độ, áp suất cao và hóa chất ăn mòn.

 

* Hiệu quả lọc cao:

Bộ lọc kim loại thiêu kết có thể loại bỏ các hạt có kích thước xuống tới 0,01 micron, điều này rất cần thiết để bảo vệ các thành phần bán dẫn mỏng manh khỏi bị nhiễm bẩn.

* Tuổi thọ cao:

Bộ lọc kim loại thiêu kết có tuổi thọ cao và có thể dễ dàng làm sạch và tái sử dụng.

* Khả năng tương thích hóa học:

Bộ lọc kim loại thiêu kết tương thích với nhiều loại hóa chất, khiến chúng phù hợp để sử dụng trong nhiều quy trình sản xuất chất bán dẫn.

Ứng dụng của bộ lọc kim loại thiêu kết trong sản xuất chất bán dẫn:

* Lọc khí:

Bộ lọc kim loại thiêu kết được sử dụng để làm sạch các loại khí được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn, chẳng hạn như nitơ, hydro và oxy.

* Lọc hóa học:

Bộ lọc kim loại thiêu kết được sử dụng để lọc các hóa chất được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn, chẳng hạn như axit, bazơ và dung môi.

* Lọc nước siêu tinh khiết:

Bộ lọc kim loại thiêu kết được sử dụng để lọc nước siêu tinh khiết dùng trong sản xuất chất bán dẫn.

* Lọc bùn CMP:

Bộ lọc kim loại thiêu kết được sử dụng để lọc bùn CMP, được sử dụng để đánh bóng các tấm bán dẫn.

Bộ lọc kim loại thiêu kết là một phần thiết yếu của quy trình sản xuất chất bán dẫn, giúp đảm bảo sản xuất các thiết bị bán dẫn chất lượng cao.

 

Loại bộ lọc bán dẫn được sử dụng trong một ứng dụng cụ thể phụ thuộc vào kích thước của các hạt được loại bỏ, loại chất lỏng được lọc và mức độ lọc mong muốn.

Dưới đây là bảng tóm tắt các loại bộ lọc bán dẫn khác nhau:

Loại bộ lọc	Sự miêu tả	Ứng dụng	Hình ảnh
Bộ lọc màng	Được làm bằng một màng mỏng, xốp cho phép chất lỏng đi qua đồng thời giữ lại các hạt.	Sản xuất điện tử, CMP, y sinh, môi trường	Bộ lọc màng cho chất bán dẫn
Bộ lọc độ sâu	Được làm bằng một lớp vật liệu dày, quanh co giúp giữ lại các hạt khi chúng chảy qua bộ lọc.	CMP, y sinh, môi trường	Bộ lọc độ sâu cho chất bán dẫn
Bộ lọc hấp phụ	Được làm bằng vật liệu có khả năng thu hút và giữ các hạt.	Sản xuất điện tử, CMP, y sinh, môi trường	Bộ lọc hấp phụ cho chất bán dẫn
Bộ lọc kim loại thiêu kết	Được chế tạo bằng cách thiêu kết bột kim loại mịn thành một cấu trúc xốp.	Lọc khí, lọc hóa học, lọc nước siêu tinh khiết, lọc bùn CMP	Mở trong một cửa sổ mớiwww.hengko.com Bộ lọc kim loại thiêu kết cho chất bán dẫn

Ứng dụng

Bộ lọc khí bán dẫn kim loại thiêu kết được sử dụng rộng rãi trong nhiều ứng dụng trong ngành bán dẫn. Các đặc tính độc đáo của chúng, chẳng hạn như hiệu quả lọc cao, độ bền và khả năng chịu được nhiệt độ và áp suất cao, khiến chúng trở thành thành phần thiết yếu của hệ thống phân phối khí trong sản xuất chất bán dẫn.

Dưới đây là một số ứng dụng cụ thể của bộ lọc khí bán dẫn kim loại thiêu kết:

1. Sản xuất bánh wafer:

Bộ lọc kim loại thiêu kết được sử dụng để làm sạch các loại khí được sử dụng trong sản xuất tấm bán dẫn, chẳng hạn như nitơ, hydro và oxy. Những loại khí này rất cần thiết cho các quá trình như tăng trưởng epiticular, ăn mòn và pha tạp.

2. Lọc hóa học:

Bộ lọc kim loại thiêu kết được sử dụng để lọc các hóa chất được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn, chẳng hạn như axit, bazơ và dung môi. Những hóa chất này được sử dụng cho nhiều mục đích khác nhau, bao gồm làm sạch, khắc và đánh bóng.

3. Lọc nước siêu tinh khiết:

Bộ lọc kim loại thiêu kết được sử dụng để lọc nước siêu tinh khiết (UPW) được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn. UPW rất cần thiết để làm sạch và tráng các tấm bán dẫn cũng như chuẩn bị hóa chất.

4. Lọc bùn CMP:

Bộ lọc kim loại thiêu kết được sử dụng để lọc bùn CMP, được sử dụng để đánh bóng các tấm bán dẫn. CMP là một quá trình quan trọng trong việc chế tạo vi mạch.

5. Lọc tại điểm sử dụng (POU):

Bộ lọc kim loại thiêu kết thường được sử dụng làm bộ lọc POU, được lắp đặt trực tiếp tại điểm sử dụng để mang lại mức lọc cao nhất. Bộ lọc POU đặc biệt quan trọng đối với các ứng dụng đòi hỏi độ tinh khiết của khí, chẳng hạn như trong sản xuất bộ vi xử lý và các thiết bị hiệu suất cao khác.

6. Xử lý khí có độ tinh khiết cao:

Bộ lọc kim loại thiêu kết được sử dụng trong các hệ thống xử lý khí có độ tinh khiết cao để loại bỏ chất gây ô nhiễm khỏi khí được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn. Những chất gây ô nhiễm này có thể bao gồm các hạt, độ ẩm và các hợp chất hữu cơ.

7. Sản xuất vi điện tử:

Bộ lọc kim loại thiêu kết được sử dụng trong sản xuất vi điện tử, như máy tính, máy tính bảng, điện thoại di động, cảm biến IoT và thiết bị điều khiển.

8. Lọc hệ thống vi cơ điện tử (MEMS):

Bộ lọc kim loại thiêu kết được sử dụng trong lọc MEMS, đây là quá trình loại bỏ các chất gây ô nhiễm khỏi hệ thống cơ điện vi mô. MEMS được sử dụng trong nhiều ứng dụng, bao gồm cảm biến, bộ truyền động và bộ chuyển đổi.

9. Lọc thiết bị lưu trữ dữ liệu:

Bộ lọc kim loại thiêu kết được sử dụng trong lọc thiết bị lưu trữ dữ liệu, đây là quá trình loại bỏ chất gây ô nhiễm khỏi các thiết bị lưu trữ dữ liệu, chẳng hạn như ổ cứng và ổ đĩa thể rắn.

Ngoài những ứng dụng cụ thể này, bộ lọc khí bán dẫn kim loại thiêu kết còn được sử dụng trong nhiều ứng dụng khác trong ngành bán dẫn. Tính linh hoạt và độ tin cậy của chúng khiến chúng trở thành công cụ thiết yếu cho các nhà sản xuất chất bán dẫn.

Bạn đang tìm kiếm bộ lọc khí bán dẫn kim loại thiêu kết chất lượng hàng đầu?

HENGKO là đối tác tin cậy của bạn về các giải pháp OEM trong hệ thống sản xuất chất bán dẫn.

Các bộ lọc được thiết kế chính xác của chúng tôi đảm bảo độ tin cậy và hiệu quả trong quy trình của bạn, mang lại cho bạn lợi thế trong thị trường cạnh tranh.

Tại sao chọn bộ lọc của HENGKO?

* Chất lượng và độ bền vượt trội
* Các giải pháp tùy chỉnh để phù hợp với nhu cầu cụ thể của bạn
* Nâng cao hiệu suất cho sản xuất chất bán dẫn

Đừng để những thách thức về lọc cản trở quá trình sản xuất của bạn.

Hãy liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để khám phá cách các bộ lọc kim loại thiêu kết của chúng tôi có thể cách mạng hóa hệ thống sản xuất của bạn.

Liên hệ với chúng tôi tạika@hengko.com

Hợp tác với HENGKO và tiến một bước hướng tới sự xuất sắc trong sản xuất chất bán dẫn!