Gioăng VCR 1/2″ với bộ lọc kim loại thiêu kết xốp mịn cho ngành công nghiệp bán dẫn
Bộ lọc gioăng kim loại xốp cho ứng dụng bán dẫn
Giải pháp đáng tin cậy để bảo vệ hệ thống khí chính xác:
1.) Được thiết kế đặc biệt chohệ thống phân phối khí bán dẫn, bộ lọc toàn bộ bằng kim loại này cung cấpkhả năng tương thích liền mạch
với giao diện gioăng tiêu chuẩn VCR 1/4", 3/8" và 1/2".
2.) Cácthiết kế kiểu gioăngđảm bảodễ dàng cài đặt, làm cho nó trở thành một rào cản bảo vệ thiết yếu cho
Mô-đun MFC (Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng), van chính xác, Vàbộ điều chỉnh áp suất.
3.) Có khả năng chịu đựngnhiệt độ lên tới 400°C, cáiBộ lọc gioăng kim loại xốpngăn chặn hiệu quả sự xâm nhập của các hạt,
bảo vệ các thành phần khí nhạy cảm.
4.) Bằng cách ngăn ngừa rò rỉ liên quan đến ô nhiễm, nókéo dài tuổi thọ thiết bịVàgiảm chi phí bảo trì.
5.) Có sẵn cả haimô hình áp suất thấp và áp suất cao, bộ lọc này có thể làđược lắp thêm vào hệ thống đường ống hiện có,
cung cấp mộtgiải pháp tiết kiệm chi phíđể bảo vệ thiết bị chính xác khỏi bị nhiễm bẩn.
Đặc điểm kỹ thuật
| Thông số kỹ thuật | Chi tiết |
|---|---|
| Vật liệu lọc | Bột thép không gỉ 316L thiêu kết |
| Vật liệu vỏ/gioăng | Thép không gỉ 316L |
| Hoàn thiện bề mặt (Bên ngoài) | Ra ≤ 1,6μm |
| Hoàn thiện bề mặt (Nội thất) | Đánh bóng + đánh bóng điện hóa, Ra ≤ 0,2μm |
| Nhiệt độ hoạt động tối đa | 400°C |
| Hiệu quả giữ hạt | ≥99,9999999% (9 LRV) @ 100 slpm (dựa trên MPPS, cho tất cả các hạt) |
| Thu thập kích thước hạt | ≥0,3μm |
| Kích thước tương thích | Giao diện gioăng tiêu chuẩn VCR 1/4'', 3/8'' và 1/2'' |
| Ứng dụng | Hệ thống phân phối khí bán dẫn, mô-đun MFC, van chính xác và bộ điều chỉnh áp suất |
| Các mẫu có sẵn | Phiên bản áp suất thấp và áp suất cao |
Tính năng sản phẩm
| Tính năng sản phẩm | Chi tiết |
|---|---|
| Vật liệu | Được chế tạo hoàn toàn bằng thép không gỉ 316L |
| Cài đặt | Có thể được sử dụng như một bộ lọc bịt kín bề mặt, loại bỏ nhu cầu thực hiện các công việc bổ sung như cắt hoặc hàn ống để lắp đặt |
| Độ bền | Chịu được nhiệt độ cao, áp suất cao và chống ăn mòn |
Dòng áp suất thấp
Thích hợp cho hệ thống đường ống áp suất thấp
*Áp suất vận hành tối đa 0,98Mpa
*Phạm vi lưu lượng: 0~100slpm
| Mô hình sản phẩm | Độ chính xác của bộ lọc | Kích thước miếng đệm | A | B | C |
| Z01B-00690 | 0,3 µm | Máy quay video 1/4" | Φ11,90 mm | Φ5,50 mm | 0,70 mm |
| Z01B-00640 | Máy quay video 1/2" | Φ19,80 mm | Φ11,20 mm | 0,70 mm | |
| Z01B-00691 | Máy quay video 3/4" | Φ28,00 mm | Φ16,80 mm | 0,70 mm | |
| Z01B-00693 | 1,0 µm | Máy quay video 1/4" | Φ11,90 mm | Φ5,50 mm | 0,70 mm |
| Z01B-00694 | 1,0 µm | Máy quay video 1/2" | Φ19,80 mm | Φ11,20 mm | 0,70 mm |
| Z01B-00692 | 1,0 µm | Máy quay video 3/4" | Φ28,00 mm | Φ16,80 mm | 0,70 mm |
| Z01B-00725 | 5 µm | Máy quay video 1/4" | Φ11,90 mm | Φ5,70 mm | 0,70 mm |
| Z01B-00726 | 10 µm | Máy quay video 1/4" | Φ11,90 mm | Φ5,70 mm | 0,70 mm |
Độ chính xác lọc (0,01–60 µm) và kích thước có thể tùy chỉnh!
Ứng dụng
Ứng dụng của bộ lọc gioăng VCR bằng thép không gỉ xốp
1. Sản xuất chất bán dẫn:
*Được sử dụng trong hệ thống phân phối khí để lọc các hạt và bảo vệ các thành phần nhạy cảm như bộ điều khiển lưu lượng khối (MFC), van và bộ điều chỉnh.
*Đảm bảo nguồn cung cấp khí sạch trong các quy trình như lắng đọng hơi hóa học (CVD) và khắc, ngăn ngừa ô nhiễm hạt có thể dẫn đến lỗi sản phẩm.
2. Ngành công nghiệp dược phẩm và công nghệ sinh học:
*Lý tưởng để sử dụng trong hệ thống cung cấp khí có độ tinh khiết cao cho các quy trình quan trọng như khử trùng khí hoặc trộn khí trong sản xuất thuốc.
*Đảm bảo tính toàn vẹn của khí sử dụng trong sản xuất bằng cách lọc bỏ các chất gây ô nhiễm có thể ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm.
3. Hàng không vũ trụ và sản xuất công nghệ cao:
*Được ứng dụng trong các hệ thống kiểm soát dòng khí chính xác dùng để sản xuất vật liệu, lớp phủ và linh kiện tiên tiến trong ngành hàng không vũ trụ.
*Chịu được nhiệt độ và áp suất khắc nghiệt, cung cấp khả năng lọc hạt lâu dài trong môi trường khắc nghiệt.
4. Xử lý hóa học:
*Có hiệu quả trong đường ống cung cấp khí tại các nhà máy hóa chất nơi có nhiệt độ, áp suất cao và môi trường ăn mòn.
*Ngăn ngừa ô nhiễm dạng hạt có thể làm gián đoạn phản ứng hóa học hoặc dẫn đến hỏng hóc thiết bị.
5. Cơ sở phòng thí nghiệm và nghiên cứu:
*Được sử dụng trong các hệ thống cung cấp khí có độ chính xác cao cho các thiết bị khoa học như máy sắc ký khí, máy quang phổ khối hoặc các thiết bị phân tích nhạy cảm khác.
*Bảo vệ các dụng cụ tinh xảo khỏi sự nhiễm bẩn dạng hạt, cải thiện độ chính xác và tuổi thọ.
6. Phân phối khí có độ tinh khiết cao:
*Thiết yếu đối với các hệ thống yêu cầu khí siêu sạch, chẳng hạn như hệ thống sử dụng trong sản xuất đồ điện tử, nơi các chất gây ô nhiễm có thể làm gián đoạn quá trình sản xuất.
*Kết cấu thép không gỉ 316L đảm bảo độ bền và khả năng chống hóa chất, phù hợp với môi trường hoạt động khắc nghiệt.
7. Hệ thống khí lạnh:
*Thích hợp cho các hệ thống cung cấp khí lạnh khi cần lọc các hạt có thể ảnh hưởng đến hiệu suất của quy trình lạnh trong các ngành công nghiệp như cung cấp khí y tế hoặc xử lý khí hóa lỏng.
8. Ngành dầu khí:
*Được sử dụng trong hệ thống lọc khí tại các nhà máy lọc dầu hoặc nhà máy hóa dầu, đảm bảo loại bỏ chất gây ô nhiễm khỏi luồng khí, bảo vệ thiết bị khỏi bị bám bẩn hoặc mài mòn.
Lợi ích chính cho các ứng dụng:
*Khả năng chịu nhiệt độ cao và áp suất caocho phép bộ lọc hoạt động đáng tin cậy trong điều kiện khắc nghiệt.
*Khả năng chống ăn mònbằng thép không gỉ 316L đảm bảo tuổi thọ lâu dài, ngay cả trong môi trường có tính ăn mòn hóa học.
*Lắp đặt thuận tiệnkhông cần phải cắt hoặc hàn thêm nên dễ dàng lắp đặt vào các hệ thống hiện có.
Sẵn sàng tối ưu hóa hệ thống phân phối khí của bạn với hiệu suất caoBộ lọc gioăng VCR bằng thép không gỉ xốp?
Liên hệHENGKOhôm nay để thảo luận về các yêu cầu cụ thể của bạn.
Đội ngũ chuyên gia của chúng tôi luôn sẵn sàng cung cấp các giải pháp OEM tùy chỉnh phù hợp với nhu cầu của ngành bạn.
Liên hệ qua email tạika@hengko.comđể bắt đầu thiết kế bộ lọc gioăng VCR hoàn hảo cho ứng dụng của bạn!
Gửi tin nhắn của bạn cho chúng tôi:
