Đá khuếch tán buồng kim loại xốp có độ tinh khiết cao HENGKO để lọc khí có độ tinh khiết cao đến chất bán dẫn
Máy khuếch tán kim loại xốp HENGKO nhanh chóng thông hơi các buồng chân không ra khí quyển, giúp giảm thời gian chu kỳ và tăng thông lượng.Bộ khuếch tán bằng thép không gỉ của chúng tôi cung cấp dòng khí đồng đều và phân lớp mà không làm xáo trộn các hạt trong buồng.Những bộ khuếch tán kim loại xốp này cũng loại bỏ các hạt lớn hơn 0,1 µm khỏi khí đi vào, giảm thiểu các khuyết tật trên tấm bán dẫn.
Bộ khuếch tán bằng thép không gỉ có thể chịu được áp suất vận hành cao hơn và duy trì tính toàn vẹn của sản phẩm – tuổi thọ dài nhất trong ngành.Và, để có khả năng chống ăn mòn vượt trội hơn niken, hãy sử dụng Bộ khuếch tán có độ tinh khiết cao HENGKO.
Các ứng dụng
Bộ khuếch tán kim loại xốp HENGKO được sử dụng trong các ứng dụng thông hơi trên buồng khóa tải, buồng chuyển, buồng làm mát và buồng xử lý của các giao diện thiết bị bán dẫn (CVD, PVD, Etch, Epi) hoặc các buồng chân không khác
Không thể tìm thấy một sản phẩm đáp ứng nhu cầu của bạn?Liên hệ với nhân viên bán hàng của chúng tôi đểDịch vụ tùy biến OEM/ODM!