Lọc độ tinh khiết cao cho sản xuất chất bán dẫn siêu sạch
Sự miêu tả
Bộ lọc khí lưu lượng cao – Được thiết kế đặc biệt để lọc khí có độ tinh khiết cực cao trong sản xuất chất bán dẫn. Được chế tạo chính xác từ thép không gỉ 316L, sản phẩm có thiết kế nhiều cột hoặc đĩa xếp chồng để đảm bảo điện trở thấp ở tốc độ dòng chảy cao, với độ chính xác lọc đạt 0,003μm đáp ứng yêu cầu độ tinh khiết cực cao. Cấu trúc hoàn toàn bằng kim loại làm cho nó trở thành giải pháp lọc lý tưởng cho môi trường động có nhiệt độ cao.
Tính năng sản phẩm
▶Toàn bộ cấu trúc bằng thép không gỉ 316L.— Đảm bảo độ bền và khả năng chống ăn mòn.
▶Lưu lượng cao, điện trở thấp— Tối ưu hóa cho lưu lượng cao với tổn thất áp suất tối thiểu.
▶Hiệu quả giữ lại hạt cực cao— Tuyệt vời để duy trì điều kiện siêu tinh khiết.
▶Chịu được nhiệt độ cao, áp suất cao và ăn mòn.— Thích hợp cho môi trường khắc nghiệt.
▶Tương thích với nhiều loại khí công nghiệp khác nhau— Đa năng, phù hợp với nhiều ứng dụng công nghiệp.
▶Lý tưởng cho sản xuất, thử nghiệm và đóng gói trong phòng sạch.— Thích hợp sử dụng trong môi trường được kiểm soát.
▶Kiểm tra tính toàn vẹn 100%— Mỗi bộ lọc đều trải qua quá trình kiểm tra toàn diện về tính toàn vẹn để đảm bảo chất lượng.
▶Kiểm tra rò rỉ khí heli 100%— Đã được kiểm chứng thông qua thử nghiệm rò rỉ khí heli để đảm bảo độ tin cậy trong các ứng dụng quan trọng.
Bảng dữ liệu
Thông số kỹ thuật
| Tham số | Thông số kỹ thuật |
|---|---|
| Vật liệu phần tử lọc | Bột thép không gỉ 316L thiêu kết |
| Vật liệu xây nhà | Thép không gỉ 316L |
| Áp suất đầu vào tối đa | 207 bar |
| Áp suất chênh lệch hoạt động tối đa | 5,2 bar |
| Tốc độ rò rỉ khí heli trong quá trình xác thực | 2 x 10⁻¹⁰ cc/phút |
| Kiểm tra tốc độ rò rỉ khí heli | 1 x 10⁻¹⁰ cc/phút |
| Xử lý bề mặt | |
| Bề mặt bên ngoài | Ra < 1,6 μm |
| Bề mặt bên trong | Ra < 0,2 μm |
| Nhiệt độ hoạt động tối đa | |
| Khí trơ | 400-500℃ |
| Khí ăn mòn và phản ứng | 50℃ |
| Hiệu quả giữ lại hạt | ≥99,9999999% (9LRV) @ 30 slpm |
| Sự sạch sẽ ở hạ lưu | ≤0,03 hạt/lít @ > 0,01 μm, 30 slpm |
| Kích thước giữ lại hạt | ≥0,003 μm |
Kích cỡ
Đây là mã số phụ tùng bạn có thể đặt hàng và thông tin chi tiết về kích thước:
| Mô hình sản phẩm | Vật liệu phần tử lọc | Độ chính xác lọc (μm) | Loại kết nối |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | Thép không gỉ 316L | 10~0.003 | 1/4” |
| Z01B-00648 | Thép không gỉ 316L | 10~0.003 | 1/2” |
| Z01B-00649 | Thép không gỉ 316L | 10~0.003 | 1/8” |
| Z01B-00650 | Thép không gỉ 316L | 10~0.003 | 1” |
| Có thể tùy chỉnh | Thép không gỉ 316L | 10~0.003 | Khi cần thiết |
Ứng dụng điển hình
một số ứng dụng điển hình củaBộ lọc số lượng lớn và tiện ích có độ tinh khiết caoVàBộ lọc dòng khí tại khu vực tiếp nhận khí.:
1. Sản xuất chất bán dẫn
*Đảm bảo cung cấp khí siêu tinh khiết cho các quy trình chế tạo bán dẫn, khắc và lắng đọng hơi hóa học (CVD).
*Đảm bảo độ tinh khiết cao trong hệ thống phân phối khí số lượng lớn đối với nitơ, argon và các khí mang khác.
2. Sản xuất dược phẩm
*Cung cấp khí vô trùng và không chứa hạt bụi cho các môi trường sản xuất quan trọng.
*Hỗ trợ lọc tinh khiết cao cho phòng sạch và môi trường được kiểm soát để duy trì chất lượng sản phẩm.
3. Hệ thống khí trong phòng thí nghiệm
*Được sử dụng trong phòng thí nghiệm để tinh chế dòng khí trong các thiết bị phân tích như sắc ký khí và phổ khối lượng.
*Đảm bảo khí có độ tinh khiết cao cho các ứng dụng nghiên cứu và thử nghiệm, bảo vệ các thiết bị nhạy cảm.
4. Chế biến thực phẩm và đồ uống
*Lọc CO₂ và các loại khí khác được sử dụng trong quá trình cacbon hóa, đóng gói và bảo quản, đảm bảo an toàn và chất lượng thực phẩm.
*Đảm bảo cung cấp khí đốt không bị ô nhiễm cho các nhà máy chế biến, đặc biệt là các công ty cung cấp khí đốt số lượng lớn.
5. Ngành công nghiệp dầu khí
*Làm sạch dòng khí tự nhiên trong hệ thống lọc khí, loại bỏ các chất gây ô nhiễm trước khi lưu trữ hoặc vận chuyển.
*Bảo vệ thiết bị phía sau bằng cách loại bỏ các hạt, hơi ẩm và tạp chất trong hệ thống dòng khí áp suất cao.
6. Sản xuất hóa chất
*Lọc các loại khí tiện ích như nitơ và argon được sử dụng trong tổng hợp và phản ứng hóa học.
*Duy trì độ tinh khiết của khí để ngăn ngừa ô nhiễm và sự không nhất quán trong phản ứng.
7. Hàng không vũ trụ và Quốc phòng
*Cung cấp khí có độ tinh khiết cao cho môi trường sản xuất và thử nghiệm vật liệu và linh kiện hàng không vũ trụ.
*Đảm bảo độ tinh khiết của khí ổn định trong môi trường được kiểm soát cho việc lắp ráp máy bay và thiết bị quốc phòng.
8. Sản xuất năng lượng (Nhà máy điện)
*Bộ lọc dùng cho khí áp suất cao trong các ứng dụng làm mát và xử lý, đặc biệt là trong môi trường nhiệt độ cao.
*Nâng cao hiệu quả và giảm hao mòn thiết bị bằng cách ngăn ngừa ô nhiễm trong hệ thống làm mát và lưu thông khí.
Những fBộ lọc là thiết yếu trong bất kỳ ứng dụng nào yêu cầu dòng khí sạch và ổn định, giúp tăng cường khả năng bảo vệ thiết bị.
Hiệu quả quy trình và chất lượng sản phẩm cuối cùng trên nhiều ngành công nghiệp.
Hãy gửi tin nhắn của bạn cho chúng tôi:
