Cảm biến nhiệt độ và độ ẩm cho sơ đồ kiểm soát độ ẩm nhiệt độ phòng sạch bán dẫn

sản phẩm Thể Hiện

Nhiệt độvàđộ ẩm của không gian sạch chủ yếu được xác định theo yêu cầu của quy trình, nhưng trong điều kiện đáp ứng các yêu cầu của quy trình, cần tính đến cảm giác thoải mái.Với việc cải thiện các yêu cầu về độ sạch của không khí, xu hướng ngày càng có nhiều yêu cầu khắt khe hơn về nhiệt độ và độ ẩm.
Vì độ chính xác của quá trình xử lý ngày càng tốt, nên phạm vi dao động nhiệt độ ngày càng ít.Ví dụ, trong quá trình tiếp xúc in thạch bản của quá trình sản xuất mạch tích hợp quy mô lớn, sự khác biệt về hệ số giãn nở nhiệt giữa thủy tinh và wafer silicon làm vật liệu mặt nạ được yêu cầu ngày càng nhỏ hơn.Đường kính wafer silicon 100 um, nhiệt độ tăng 1 độ, sẽ gây ra sự giãn nở tuyến tính 0,24um, do đó phải có nhiệt độ ± 0,1 độ, đồng thời giá trị độ ẩm thường thấp, do người đổ mồ hôi, sản phẩm sẽ bị ô nhiễm, đặc biệt sợ xưởng bán dẫn natri, xưởng này không được vượt quá 25 độ.
Độ ẩm cao gây ra nhiều vấn đề hơn.Khi độ ẩm tương đối vượt quá 55%, sương sẽ hình thành trên thành ống nước làm mát, điều này sẽ gây ra nhiều tai nạn nếu xảy ra trong các thiết bị hoặc mạch điện chính xác.Khi độ ẩm tương đối là 50%, rất dễ bị rỉ sét.Ngoài ra, khi độ ẩm quá cao, bụi bám trên bề mặt chip silicon sẽ bị hấp phụ hóa học trên bề mặt để chống lại việc loại bỏ.Độ ẩm tương đối càng cao thì độ bám dính càng khó loại bỏ, nhưng khi độ ẩm tương đối thấp hơn 30%, các hạt dễ dàng hấp phụ trên bề mặt do tác động của lực tĩnh điện và một số lượng lớn các thiết bị bán dẫn là dễ bị đổ vỡ.Phạm vi nhiệt độ tối ưu để sản xuất wafer là 35-45%.

Do đó, việc kiểm soát nhiệt độ và độ ẩm đặc biệt quan trọng, HENGKO có thể cung cấp cho bạn một loạtgiải pháp xử lý tùy chỉnh máy phát nhiệt độ và độ ẩm!

Cảm biến nhiệt độ và độ ẩm cho sơ đồ kiểm soát độ ẩm nhiệt độ phòng sạch bán dẫn

Không thể tìm thấy một sản phẩm đáp ứng nhu cầu của bạn?Liên hệ với nhân viên bán hàng của chúng tôi đểDịch vụ tùy biến OEM/ODM!