Bộ lọc C Seal gắn bề mặt IGS hiệu suất cao dành cho hệ thống cung cấp khí bán dẫn.
Sự miêu tả
Bộ lọc gắn bề mặt HENGKO được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu khắt khe của hệ thống khí tích hợp được sử dụng trong các công cụ OEM bán dẫn. Cung cấp khả năng lọc hàng đầu trong ngành với kích thước 0,003 µm, các bộ lọc này đảm bảo hiệu suất và độ tin cậy vượt trội với hiệu quả giữ lại hạt ≥99,9999999% (9-LRV) ở tốc độ 120 slpm.
Được chế tạo từ bột thép không gỉ 316L chắc chắn, nung kết cho phần tử lọc và vỏ, các bộ lọc này tuân thủ các thông số kỹ thuật SEMI F86-0304, có các bộ phận hai cổng được thiết kế riêng cho hệ thống phân phối khí 1,125” với cấu hình gioăng chữ C. Chúng hỗ trợ áp suất đầu vào tối đa 3,4 MPa ở 100°C và chênh lệch áp suất hoạt động tối đa 0,69 MPa ở 100°C.
Các bộ lọc chuyên dụng này, tương thích với cả thông số kỹ thuật gioăng loại C và loại W, giúp đạt được độ sạch ở khâu sau với khả năng thải bỏ hạt.
Với độ hoàn thiện bề mặt Ra< 1,6 µm ở bên ngoài và RaVới kích thước lỗ lọc bên trong nhỏ hơn 0,13 µm, chúng được thiết kế để chịu được nhiệt độ cao lên đến 460°C. Được thiết kế để dễ dàng tích hợp và nâng cấp theo kiểu mô-đun, các bộ lọc này đơn giản hóa việc lắp đặt và bảo trì, giúp tối ưu hóa hiệu suất hệ thống trong các ứng dụng cung cấp và điều khiển khí bán dẫn.
Tính năng sản phẩm
▶ Toàn bộ cấu trúc được làm bằng thép không gỉ 316L.
▶ Thiết kế thu nhỏ, cấu trúc nhỏ gọn, tiết kiệm không gian
▶ Đặc tính trao đổi và giải hấp khí tuyệt vời
▶ Chịu được nhiệt độ cao, áp suất cao và ăn mòn
▶ Vỏ bằng thép không gỉ 316L được đánh bóng điện hóa
▶ Lắp đặt và bảo trì dễ dàng và hiệu quả
▶ Hệ thống làm kín cơ khí, không hàn gắn với môi chất.
Bảng dữ liệu
| Thông số kỹ thuật | Giá trị |
|---|---|
| Vật liệu phần tử lọc | Bột thiêu kết thép không gỉ 316L |
| Vật liệu xây nhà | Thép không gỉ 316L |
| Áp suất đầu vào tối đa | 3,4 MPa @ 100°C |
| Chênh lệch hoạt động tối đa | 0,69 MPa @ 100°C |
| Tốc độ rò rỉ khí heli trong quá trình xác minh | 1x10⁻¹¹ cc/phút |
| Tốc độ rò rỉ khí heli trong thử nghiệm | 1x10⁻⁹ cc/phút |
| Xử lý bề mặt | Bề mặt ngoài Ra< 1,6 μm |
| Bề mặt bên trong Ra< 0,13 μm | |
| Nhiệt độ hoạt động tối đa | 460°C |
| Hiệu quả chặn bắt hạt | ≥99,9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (MPPS tham chiếu, tất cả các hạt) |
| Sự sạch sẽ ở hạ lưu | Sự phát tán hạt:< 0,03 hạt/lít (< 1 hạt/ft³) |
| Các chất dễ bay hơi:< 10 ppb độ ẩm | |
| Kích thước hạt bị chặn | ≥0,003 μm |
| Phạm vi lưu lượng | 0 ~ 120 phút/phút |
Kích cỡ
Đây là mã số phụ tùng bạn có thể đặt hàng và thông tin chi tiết về kích thước:
| Mô hình sản phẩm | Lưu lượng | Chiều cao H (mm) | Độ chính xác lọc | Mức độ làm sạch |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 phút/phút | 51,6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 phút/phút | 82,9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 phút/phút | 126.2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 phút/phút | 167,9 | 0,003 μm | C |
Ứng dụng điển hình
Dùng cho hệ thống phân phối khí dạng mô-đun gắn nổi trên bề mặt W-seal và C-seal, kích thước 1,125” và 1,5”.
Hãy gửi tin nhắn của bạn cho chúng tôi:
